24. 8. 2019  22:48 Bartolomej
Akademický informačný systém

Ľudia na STU


Na tejto stránke máte zobrazené všetky verejne prístupne údaje o zadanej osobe. Niektoré informácie o personálnom zaradení a funkciách osoby môžu byť skryté.

prof. Ing. Alexander Šatka, CSc.
Identifikačné číslo: 1865
Univerzitný e-mail: alexander.satka [at] stuba.sk
 
Profesor CSc.,PhD. - Ústav elektroniky a fotoniky (FEI)

Kontakty     Výučba     Projekty     Publikácie     Orgány     Vedené práce     

Základné informácie

Základné informácie o záverečnej práci

Typ práce: Diplomová práca
Názov práce:Monte Carlo simulácia interakcie elektrónového zväzku s polovodičovými štruktúrami
Autor: Ing. Juraj Priesol, PhD.
Pracovisko: Katedra mikroelektroniky (FEI)
Vedúci práce: prof. Ing. Alexander Šatka, CSc.
Oponent:Ing. Andrej Vincze, PhD.
Stav záverečnej práce:Záverečná práca bola úspešne obhájená


Doplňujúce informácie

Nasledujú doplňujúce informácie záverečnej práce. Kliknutím na odkaz s názvom jazyka vyberiete, v akom jazyku majú byť informácie zobrazené.

Jazyk spracovania záverečnej práce:slovenský jazyk

slovenský jazyk        anglický jazyk

Názov práce:Monte Carlo simulácia interakcie elektrónového zväzku s polovodičovými štruktúrami
Abstrakt:Práca je zameraná na oboznámenie sa s fyzikálnymi javmi vznikajúcimi pri interakcii primárneho elektrónového zväzku s materiálom pozorovaného objektu v rastrovacom elektrónovom mikroskope. Zvýšená pozornosť je venovaná rozptylovým mechanizmom elektrónov z hľadiska ich energetických strát a trajektórií, a štúdiu problematiky modelovania a simulácie interakcie primárneho zväzku s tuhou látkou metódou Monte Carlo. Využitím programových prostriedkov MATLAB a programovacieho jazyka C bol vytvorený program na simuláciu interakcie primárneho zväzku s tuhou látkou metódou Monte Carlo. Vyšetrený je vplyv energie a uhla dopadu elektrónového zväzku na koeficient odrazu primárnych elektrónov pre polovodičové vzorky Si, GaN a GaAs. Preskúmané sú energetické straty a priestorová distribúcia generovaných nosičov náboja v polovodičovej štruktúre GaN/InGaN/GaN. Posledná časť práce je venovaná problematike vplyvu difúzie a rekombinácie na priestorovú distribúciu generovaných nosičov náboja.
Kľúčové slová:interakcia, Monte Carlo metóda, elektrónový zväzok, rastrovacia elektrónová mikroskopia, Bethe

Aktuálny stupeň zverejnenia
 
Bylo zvoleno nezveřejnění závěrečné práce - iný závažný dôvod (v súlade s § 51 Zákona č. 618/2003 Z. z. o autorskom práve a právach súvisiacich s autorským právom v znení neskorších predpisov (autorský zákon)):
Práca obsahuje originálne výsledky, ktoré sú obsahom pripravovanej publikácie..


Zobrazenie a sťahovanie súborov

Pokiaľ chcete zobraziť zadanie záverečnej práce, kliknite na ikonu Zobraziť zadanie. Ikony Záverečná práca, Prílohy práce, Posudok vedúceho a Posudok oponenta predstavujú súbory týkajúce sa záverečnej práce, ktoré je možné stiahnuť. Budú zobrazené iba v prípade, že je súbor vložený a zároveň je verejný.

Zobraziť zadanie

Časti práce s odloženým zverejnením:

Záverečná práca (prílohy záverečnej práce) neobmedzene
Posudky záverečnej práce neobmedzene