9. 12. 2019  1:50 Izabela
Akademický informační systém

Lidé na STU


Na této stránce máte zobrazeny všechny veřejně přístupné údaje o zadané osobě. Některé informace o personálním zařazení a funkcích osoby mohou být skryty.

prof. Ing. František Uherek, PhD.
Identifikační číslo: 1937
Univerzitní e-mail: frantisek.uherek [at] stuba.sk
 
Prorektor - Vedenie STU (REKP REK)
Profesor CSc.,PhD. - Ústav elektroniky a fotoniky (FEI)
Prorektor - Slovenská technická univerzita v Bratislave
 
Externí spolupracovník - Ústav priemyselného inžinierstva a manažmentu (MTF)

Kontakty     Výuka     Projekty     Publikace     Orgány     Vedené práce     

Základní informace

Základní informace o závěrečné práci

Typ práce: Diplomová práce
Název práce:Príprava a analýza diamantových štruktúr na rôznych substrátoch
Autor: Ing. Pavol Michniak, PhD.
Pracoviště: Katedra mikroelektroniky (FEI)
Vedoucí práce: prof. Ing. František Uherek, PhD.
Oponent:Ing. Martin Hulman, PhD.
Stav závěrečné práce:Závěrečná práce byla úspěšně obhájena


Doplňující informace

Následují doplňující informace závěrečné práce. Kliknutím na odkaz s názvem jazyka zvolíte, v jakém jazyce mají být informace zobrazeny.

Jazyk zpracování závěrečné práce:slovenský jazyk

slovenský jazyk        anglický jazyk

Název práce:Príprava a analýza diamantových štruktúr na rôznych substrátoch
Abstrakt:Práca sa zaoberá základnými vlastnosťami a rastom diamantových vrstiev, problematikou nukleácie, ktorá tvorí základný krok pri raste týchto vrstiev a možnými aplikáciami vrstiev pripravených na rôznych substrátoch. Práca stručne popisuje základné metódy prípravy syntetických diamantových vrstiev s dôrazom na metódy HF CVD (Hot Filament Chemical Vapour Deposition) a MW CVD (MicroWave Chemical Vapour Deposition). Pomocou týchto metód boli pripravené tenké diamantové vrstvy na substrátoch Si, Si/SiO2, SiO2 a špeciálnom vysokoteplotnom kremennom skle JGS1. Vzorky boli analyzované analytickými metódami SEM (Scanning Electron Microscope), SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy), XRD (X-Rays Diffraction) a Ramanovou spektroskopiou. V experimentálnej časti práce sú podrobne spracované namerané výsledky z týchto metód a je detailne preskúmaný vplyv depozičných parametrov na vlastnosti pripravených diamantových vrstiev.
Klíčová slova:SIMS, Ramanova spektroskopia, diamant, XRD, HF CVD, SEM

Aktuální stupeň zveřejnění
 
zpřístupňování vytvořené digitální rozmnoženiny školního díla online prostřednictvím internetu bez omezení, včetně práva poskytovat sublicence třetí osobě na studijní, vědecké, vzdělávací a informační účely.


Zobrazení a stahování souborů

Pokud chcete zobrazit zadání závěrečné práce, klikněte na ikonu Zobrazit zadání. Ikony Závěrečná práce, Přílohy práce, Posudek vedoucího a Posudek oponenta představují soubory týkající se závěrečné práce, které je možné stáhnout. Budou zobrazeny pouze v případě, že je soubor vložen a zároveň je veřejný.

Zobrazit zadáníZávěrečná práce

Části práce s odloženým zveřejněním:

Posudky závěrečné práce neomezeně