Apr 7, 2020   9:34 p.m. Zoltán
Academic information system

Persons at STU


This page displays all publicly accessible information about the desired person. Some information about the person's occupation and offices may be hidden.

Ing. Arpád Kósa, PhD.
Identification number: 50249
University e-mail: arpad.kosa [at] stuba.sk
 
Výskumný pracovník s VŠ vzdelaním - Institute of Electronics and Phototonics (FEEIT)

Contacts     Graduate     Lesson     Final thesis     
Projects     Publications     Supervised theses     

Basic information

Basic information about a final thesis

Type of thesis: Diploma thesis
Thesis title:Investigation of the Electrically Active Defects in the MOS Structure Based on Black Silicon
Written by (author): Ing. Erik Svitač
Department: Institute of Electronics and Phototonics (FEEIT)
Thesis supervisor: Ing. Arpád Kósa, PhD.
Opponent:Ing. Peter Juhász, PhD.
Final thesis progress:Final thesis was successfully defended.


Additional information

Additional information about the final thesis follows. Click on the language link to display the information in the desired language.

Language of final thesis:Slovak

Slovak        English

Title of the thesis:Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
Summary:Táto diplomová práca sa zaoberá skúmaním distribúcie porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka Fourierovou spektroskopiou hlbokých hladín (DLTFS). V teoretickej časti je uvedená analýza vlastností čierneho kremíka, spôsoby výroby a aplikácie. Nasledujú informácie o rozdelení porúch v polovodičoch a princíp činnosti metódy DLTFS. V rámci experimentálnej časti bol skúmaný vplyv technologických procesov prípravy čierneho kremíka chemickým a elektrochemickým leptaním na troch sadách vzoriek. Najvyššia kvalita bola zistená na MOS štruktúrach pripravených chemickým leptaním s asistenciou platiny, ktoré boli následne termálne oxidované v dusíkovej atmosfére.
Key words:DLTFS, elektrochemické leptanie, DLTS, čierny kremík, chemické leptanie

Display and download files

To display the final thesis assignment form click on the Display the final thesis assignment form icon. The following icons - Final thesis, Thesis appendices, Supervisor's review, Opponent's review - relate to the final thesis and can be downloaded. They could be displayed on condition they have been inserted and are available publicly.

Display the assignment form

Parts of thesis with postponed release:

Final thesis (final thesis appendices) unlimited
Reviews for final thesis unlimited