10. 12. 2019  8:23 Radúz
Akademický informačný systém

Ľudia na STU


Na tejto stránke máte zobrazené všetky verejne prístupne údaje o zadanej osobe. Niektoré informácie o personálnom zaradení a funkciách osoby môžu byť skryté.

Ing. Arpád Kósa, PhD.
Identifikačné číslo: 50249
Univerzitný e-mail: arpad.kosa [at] stuba.sk
 
Výskumný pracovník s VŠ vzdelaním - Ústav elektroniky a fotoniky (FEI)

Kontakty     Absolvent     Výučba     Záverečná práca     
Projekty     Publikácie     Vedené práce     

Základné informácie

Základné informácie o záverečnej práci

Typ práce: Diplomová práca
Názov práce:Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
Autor: Ing. Erik Svitač
Pracovisko: Ústav elektroniky a fotoniky (FEI)
Vedúci práce: Ing. Arpád Kósa, PhD.
Oponent:Ing. Peter Juhász, PhD.
Stav záverečnej práce:Záverečná práca bola úspešne obhájená


Doplňujúce informácie

Nasledujú doplňujúce informácie záverečnej práce. Kliknutím na odkaz s názvom jazyka vyberiete, v akom jazyku majú byť informácie zobrazené.

Jazyk spracovania záverečnej práce:slovenský jazyk

slovenský jazyk        anglický jazyk

Názov práce:Skúmanie elektricky aktívnych porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka
Abstrakt:Táto diplomová práca sa zaoberá skúmaním distribúcie porúch v MOS štruktúrach na báze čierneho kremíka Fourierovou spektroskopiou hlbokých hladín (DLTFS). V teoretickej časti je uvedená analýza vlastností čierneho kremíka, spôsoby výroby a aplikácie. Nasledujú informácie o rozdelení porúch v polovodičoch a princíp činnosti metódy DLTFS. V rámci experimentálnej časti bol skúmaný vplyv technologických procesov prípravy čierneho kremíka chemickým a elektrochemickým leptaním na troch sadách vzoriek. Najvyššia kvalita bola zistená na MOS štruktúrach pripravených chemickým leptaním s asistenciou platiny, ktoré boli následne termálne oxidované v dusíkovej atmosfére.
Kľúčové slová:DLTFS, elektrochemické leptanie, DLTS, čierny kremík, chemické leptanie

Zobrazenie a sťahovanie súborov

Pokiaľ chcete zobraziť zadanie záverečnej práce, kliknite na ikonu Zobraziť zadanie. Ikony Záverečná práca, Prílohy práce, Posudok vedúceho a Posudok oponenta predstavujú súbory týkajúce sa záverečnej práce, ktoré je možné stiahnuť. Budú zobrazené iba v prípade, že je súbor vložený a zároveň je verejný.

Zobraziť zadanie

Časti práce s odloženým zverejnením:

Záverečná práca (prílohy záverečnej práce) neobmedzene
Posudky záverečnej práce neobmedzene