15. 12. 2019  5:50 Ivica
Akademický informačný systém

Ľudia na STU


Na tejto stránke máte zobrazené všetky verejne prístupne údaje o zadanej osobe. Niektoré informácie o personálnom zaradení a funkciách osoby môžu byť skryté.

prof. Ing. František Uherek, PhD.
Identifikačné číslo: 1937
Univerzitný e-mail: frantisek.uherek [at] stuba.sk
 
Prorektor - Vedenie STU (REKP REK)
Profesor CSc.,PhD. - Ústav elektroniky a fotoniky (FEI)
Prorektor - Slovenská technická univerzita v Bratislave
 
Externý spolupracovník - Ústav priemyselného inžinierstva a manažmentu (MTF)

Kontakty     Výučba     Projekty     Publikácie     Orgány     Vedené práce     

Základné informácie

Základné informácie o záverečnej práci

Typ práce: Diplomová práca
Názov práce:Príprava a analýza diamantových štruktúr na rôznych substrátoch
Autor: Ing. Pavol Michniak, PhD.
Pracovisko: Katedra mikroelektroniky (FEI)
Vedúci práce: prof. Ing. František Uherek, PhD.
Oponent:Ing. Martin Hulman, PhD.
Stav záverečnej práce:Záverečná práca bola úspešne obhájená


Doplňujúce informácie

Nasledujú doplňujúce informácie záverečnej práce. Kliknutím na odkaz s názvom jazyka vyberiete, v akom jazyku majú byť informácie zobrazené.

Jazyk spracovania záverečnej práce:slovenský jazyk

slovenský jazyk        anglický jazyk

Názov práce:Príprava a analýza diamantových štruktúr na rôznych substrátoch
Abstrakt:Práca sa zaoberá základnými vlastnosťami a rastom diamantových vrstiev, problematikou nukleácie, ktorá tvorí základný krok pri raste týchto vrstiev a možnými aplikáciami vrstiev pripravených na rôznych substrátoch. Práca stručne popisuje základné metódy prípravy syntetických diamantových vrstiev s dôrazom na metódy HF CVD (Hot Filament Chemical Vapour Deposition) a MW CVD (MicroWave Chemical Vapour Deposition). Pomocou týchto metód boli pripravené tenké diamantové vrstvy na substrátoch Si, Si/SiO2, SiO2 a špeciálnom vysokoteplotnom kremennom skle JGS1. Vzorky boli analyzované analytickými metódami SEM (Scanning Electron Microscope), SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy), XRD (X-Rays Diffraction) a Ramanovou spektroskopiou. V experimentálnej časti práce sú podrobne spracované namerané výsledky z týchto metód a je detailne preskúmaný vplyv depozičných parametrov na vlastnosti pripravených diamantových vrstiev.
Kľúčové slová:SIMS, Ramanova spektroskopia, diamant, XRD, HF CVD, SEM

Aktuálny stupeň zverejnenia
 
sprístupňovanie vyhotovenej digitálnej rozmnoženiny školského diela online prostredníctvom internetu bez obmedzenia, vrátane práva poskytnúť sublicenciu tretej osobe na študijné, vedecké, vzdelávacie a informačné účely.


Zobrazenie a sťahovanie súborov

Pokiaľ chcete zobraziť zadanie záverečnej práce, kliknite na ikonu Zobraziť zadanie. Ikony Záverečná práca, Prílohy práce, Posudok vedúceho a Posudok oponenta predstavujú súbory týkajúce sa záverečnej práce, ktoré je možné stiahnuť. Budú zobrazené iba v prípade, že je súbor vložený a zároveň je verejný.

Zobraziť zadanieZáverečná práca

Časti práce s odloženým zverejnením:

Posudky záverečnej práce neobmedzene