14. 12. 2019  9:19 Branislava, Bronislava
Akademický informačný systém

Ľudia na STU


Na tejto stránke máte zobrazené všetky verejne prístupne údaje o zadanej osobe. Niektoré informácie o personálnom zaradení a funkciách osoby môžu byť skryté.

prof. Ing. František Uherek, PhD.
Identifikačné číslo: 1937
Univerzitný e-mail: frantisek.uherek [at] stuba.sk
 
Prorektor - Vedenie STU (REKP REK)
Profesor CSc.,PhD. - Ústav elektroniky a fotoniky (FEI)
Prorektor - Slovenská technická univerzita v Bratislave
 
Externý spolupracovník - Ústav priemyselného inžinierstva a manažmentu (MTF)

Kontakty     Výučba     Projekty     Publikácie     Orgány     Vedené práce     

Základné informácie

Základné informácie o záverečnej práci

Typ práce: Diplomová práca
Názov práce:Príprava a analýza diamantových štruktúr na rôznych substrátoch
Autor: Ing. Pavol Michniak, PhD.
Pracovisko: Katedra mikroelektroniky (FEI)
Vedúci práce: prof. Ing. František Uherek, PhD.
Oponent:Ing. Martin Hulman, PhD.
Stav záverečnej práce:Záverečná práca bola úspešne obhájená


Doplňujúce informácie

Nasledujú doplňujúce informácie záverečnej práce. Kliknutím na odkaz s názvom jazyka vyberiete, v akom jazyku majú byť informácie zobrazené.

Jazyk spracovania záverečnej práce:slovenský jazyk

slovenský jazyk        anglický jazyk

Názov práce:Analysis of diamond structures prepared on different substrates
Abstrakt:The thesis overviews the basic properties and preparation methods, presents the topic of nucleation preparation, which is the first step before the diamond layer deposition and possible applications of diamond layers on different substrates. The thesis shortly describes the basic methods of diamond layer preparation with a focus to HF CVD (Hot Filament Chemical Vapour Deposition) a MW CVD (MicroWave Chemical Vapour Deposition) methods. By using of this two methods a set of diamond layer samples were prepared on Si, Si/SiO2, SiO2 and special high temperature silica glass JGS1. The samples were analysed by analytical methods SEM (Scanning Electron Microscope), SIMS (Secondary Ion Mass Spectroscopy), XRD (X-Rays diffraction) and Raman spectroscopy. The experimental part of the thesis is focused to the analysis and the detailed evaluation of the results from all analysis methods. The analysis results evaluated the influence of the deposition parameters to the properties of the thin diamond layers.
Kľúčové slová:HF CVD, SEM, XRD, diamond, Raman spectrospcopy, SIMS

Aktuálny stupeň zverejnenia
 
sprístupňovanie vyhotovenej digitálnej rozmnoženiny školského diela online prostredníctvom internetu bez obmedzenia, vrátane práva poskytnúť sublicenciu tretej osobe na študijné, vedecké, vzdelávacie a informačné účely.


Zobrazenie a sťahovanie súborov

Pokiaľ chcete zobraziť zadanie záverečnej práce, kliknite na ikonu Zobraziť zadanie. Ikony Záverečná práca, Prílohy práce, Posudok vedúceho a Posudok oponenta predstavujú súbory týkajúce sa záverečnej práce, ktoré je možné stiahnuť. Budú zobrazené iba v prípade, že je súbor vložený a zároveň je verejný.

Zobraziť zadanieZáverečná práca

Časti práce s odloženým zverejnením:

Posudky záverečnej práce neobmedzene