7. 12. 2019  0:29 Ambróz
Akademický informační systém

Přehled vypsaných témat - Fakulta elektrotechniky a informatiky


Základní údaje

Typ práce: Bakalářská práce
Název tématu: Vytváranie nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
Název tématu anglicky: Fabrication of nanostructures using electron lithography
Stav tématu: schváleno (prof. Ing. Daniel Donoval, DrSc. - Garant studijního programu)
Vedoucí práce: Ing. Milan Pavúk, PhD.
Fakulta: Fakulta elektrotechniky a informatiky
Garantující pracoviště: Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva (FEI)
Max. počet studentů: 1
Akademický rok:2019/2020
Navrhl: Ing. Milan Pavúk, PhD.
Abstrakt: Nanotechnológia je vytváranie a riadenie funkčných systémov, ktorých rozmery sú pod 100 nm. Je to jedno z najrýchlejšie sa rozvíjajúcich odvetví v súčasnej fyzike. Vhodným prostriedkom na definovanie nanoštruktúr je elektrónová litografia (EBL - Electron Beam Lithography). EBL je litografický proces, ktorý využíva fokusovaný zväzok elektrónov na kreslenie veľmi malých útvarov do rezistovej vrstvy. V ďalšom kroku slúži tento modifikovaný rezist ako maskovacia vrstva, cez ktorú sa nano-útvary prenesú do polovodičového alebo kovového materiálu. EBL sa v laboratórnych podmienkach realizuje pomocou skenovacieho elektrónového mikroskopu. Študent sa pod vedením diplomového vedúceho naučí pracovať v čistých priestoroch, obsluhovať špičkové moderné zariadenia (AFM, SEM), čím získa zručnosti pri tvarovaní materiálov na mikro a nano úrovni. Úlohou študenta bude naučiť sa pracovať s elektrónovým mikroskopom a zvládnuť riadenie mikroskopu pomocou litografického softvéru. Optimalizuje parametre litografie s cieľom prípravy nanoštruktúr s rozmerom pod 100 nm. (Pedagogický vedúci bakalárskej práce: Ing. Milan Pavúk, PhD., externý vedúci: Ing. Ján Šoltýs, PhD. (ElÚ SAV))



Omezení k tématu

K přihlášení řešitele na téma je potřeba splnění jednoho z následujících omezení

Omezení dle studia
Tabulka zobrazuje omezení dle studia, na které musí být student zapsán, aby se mohl na dané téma přihlásit.

Program
B-ELN elektronika

Omezení na předměty
Tabulka zobrazuje omezení na předmět, který musí mít student odstudován, aby se mohl na dané téma přihlásit.

PracovištěNázev předmětu
Nenalezena žádná vyhovující data.