Oct 17, 2019   12:13 p.m. Hedviga
Academic information system

Summary of topics offered - Faculty of Electrical Engineering and Information Technology


Basic information

Type of work: Bachelor thesis
Topic: Vytváranie nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
Title of topic in English: Fabrication of nanostructures using electron lithography
State of topic: approved (prof. Ing. Daniel Donoval, DrSc. - Study programme supervisor)
Thesis supervisor: Ing. Milan Pavúk, PhD.
Faculty: Faculty of Electrical Engineering and Information Technology
Supervising department: Institute of Nuclear and Physical Engineering - FEEIT
Max. no. of students: 1
Academic year:2019/2020
Proposed by: Ing. Milan Pavúk, PhD.
Summary: Nanotechnológia je vytváranie a riadenie funkčných systémov, ktorých rozmery sú pod 100 nm. Je to jedno z najrýchlejšie sa rozvíjajúcich odvetví v súčasnej fyzike. Vhodným prostriedkom na definovanie nanoštruktúr je elektrónová litografia (EBL - Electron Beam Lithography). EBL je litografický proces, ktorý využíva fokusovaný zväzok elektrónov na kreslenie veľmi malých útvarov do rezistovej vrstvy. V ďalšom kroku slúži tento modifikovaný rezist ako maskovacia vrstva, cez ktorú sa nano-útvary prenesú do polovodičového alebo kovového materiálu. EBL sa v laboratórnych podmienkach realizuje pomocou skenovacieho elektrónového mikroskopu. Študent sa pod vedením diplomového vedúceho naučí pracovať v čistých priestoroch, obsluhovať špičkové moderné zariadenia (AFM, SEM), čím získa zručnosti pri tvarovaní materiálov na mikro a nano úrovni. Úlohou študenta bude naučiť sa pracovať s elektrónovým mikroskopom a zvládnuť riadenie mikroskopu pomocou litografického softvéru. Optimalizuje parametre litografie s cieľom prípravy nanoštruktúr s rozmerom pod 100 nm. (Pedagogický vedúci bakalárskej práce: Ing. Milan Pavúk, PhD., externý vedúci: Ing. Ján Šoltýs, PhD. (ElÚ SAV))



Limitations of the topic

To sign up for a topic it is necessary to fulfil one of the following restrictions

Restrictions by study
The table shows restrictions by study to which the student has to be enrolled in order to sign up for the given topic.

Programme
B-ELN Electronics

Limit to courses
The table shows limitations of a course the student has to complete to be able to register for a given topic.

DepartmentCourse title
No suitable data found.