21. 10. 2019  8:25 Uršuľa
Akademický informačný systém

Prehľad vypísaných tém - Fakulta elektrotechniky a informatiky


Základné údaje

Typ práce: Bakalárska práca
Názov témy: Vytváranie nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie
Názov témy anglicky: Fabrication of nanostructures using electron lithography
Stav témy: schválené (prof. Ing. Daniel Donoval, DrSc. - Garant študijného programu)
Vedúci práce: Ing. Milan Pavúk, PhD.
Fakulta: Fakulta elektrotechniky a informatiky
Garantujúce pracovisko: Ústav jadrového a fyzikálneho inžinierstva - FEI
Max. počet študentov: 1
Akademický rok:2019/2020
Navrhol: Ing. Milan Pavúk, PhD.
Abstrakt: Nanotechnológia je vytváranie a riadenie funkčných systémov, ktorých rozmery sú pod 100 nm. Je to jedno z najrýchlejšie sa rozvíjajúcich odvetví v súčasnej fyzike. Vhodným prostriedkom na definovanie nanoštruktúr je elektrónová litografia (EBL - Electron Beam Lithography). EBL je litografický proces, ktorý využíva fokusovaný zväzok elektrónov na kreslenie veľmi malých útvarov do rezistovej vrstvy. V ďalšom kroku slúži tento modifikovaný rezist ako maskovacia vrstva, cez ktorú sa nano-útvary prenesú do polovodičového alebo kovového materiálu. EBL sa v laboratórnych podmienkach realizuje pomocou skenovacieho elektrónového mikroskopu. Študent sa pod vedením diplomového vedúceho naučí pracovať v čistých priestoroch, obsluhovať špičkové moderné zariadenia (AFM, SEM), čím získa zručnosti pri tvarovaní materiálov na mikro a nano úrovni. Úlohou študenta bude naučiť sa pracovať s elektrónovým mikroskopom a zvládnuť riadenie mikroskopu pomocou litografického softvéru. Optimalizuje parametre litografie s cieľom prípravy nanoštruktúr s rozmerom pod 100 nm. (Pedagogický vedúci bakalárskej práce: Ing. Milan Pavúk, PhD., externý vedúci: Ing. Ján Šoltýs, PhD. (ElÚ SAV))



Obmedzenie k téme

Na prihlásenie riešiteľa na tému je potrebné splnenie jedného z nasledujúcich obmedzení

Obmedzenie podľa štúdia
Tabuľka zobrazuje obmedzenia podľa štúdia, na ktoré musí byť študent zapísaný, aby sa mohol na danú tému prihlásiť.

Program
B-ELN elektronika

Obmedzenie na predmety
Tabuľka zobrazuje obmedzenia na predmet, ktorý musí mať študent odštudovaný, aby sa mohol na danú tému prihlásiť.

PracoviskoNázov predmetu
Nenájdené žiadne vyhovujúce dáta.