16. 10. 2019  21:24 Vladimíra
Akademický informačný systém

Projekty


Optimalizácia technologických procesov prípravy polovodičových štruktúr progresívnými diagnostickými metódami.

Garant: doc. Ing. Rudolf Srnánek, PhD.


Základné informácie   Pracovníci      


Na tejto stránke máte zobrazené podrobné informácie o projekte. Pri hlavných projektoch sa zobrazuje navyše zoznam podprojektov.

Popis projektu:Projekt je orientovaný na získanie nových poznatkov v oblasti diagnostiky progresívnych polovodičových štruktúr, vrátane nanoštruktúr pripravených na báze Si, SiGe, SiGeC, GaAs a InP. Je zameraný predovšetkým na simuláciu a meranie elektrofyzikálnych vlastností polovodičových štruktúr a prvkov. Ďalej na zdokonaľovanie metodiky merania a diagnostických metód, najmä kapacitnej, kapacitnej elektrochemickej, štvorbodovej, van der Pauw a hrotovej I-V. Diagnostika nanoštruktúr bude realizovaná nami vyvinutými novými postupmi používanými pri mikro-Ramanovej spektroskopii a mikro luminiscencii na šikmých plochách vytvorených chemickým leptaním. Verifikácia výsledkov sa uskutoční inými diagnostickými metódami v spolupráci s domácimi i zahraničnými pracoviskami. Do riešenia projektu budú zapojení študenti denného a doktorandského štúdia. Pri riešení projektu dosiahnuté výsledky budú využité pri optimalizácii podmienok prípravy vybraných polovodičových štruktúr vyrobených v spolupráci s domácimi i zahraničnými pracoviskami. Získané poznatky sa využijú pri výchove technickej inteligencie pre novo budované pracoviská na výrobu polovodičových prvkov a integrovaných obvodov na Slovensku.
Druh projektu:VEGA ()
Pracovisko:Katedra mikroelektroniky (FEI)
Identifikácia projektu:1/3111/06
Stav projektu:Ukončený úspešne
Dátum začatia projektu:01. 01. 2006
Dátum ukončenia projektu:31. 12. 2008
Počet pracovníkov projektu:1
Počet oficiálnych pracovníkov projektu:0