20. 6. 2019  3:05 Valéria
Akademický informačný systém

Projekty


Štúdium elektrofyzikálnych a technologických problémov štruktúr MIS a tenkými izolačnými vrstvami pre novú generáciu unipolárnych obvodov.

Garant: doc. Ing. Ladislav Harmatha, PhD.


Základné informácie   Pracovníci      


Na tejto stránke máte zobrazené podrobné informácie o projekte. Pri hlavných projektoch sa zobrazuje navyše zoznam podprojektov.

Popis projektu:Výskum elektrofyzikálnych vlastností unipolárnych štruktúr MIS s tenkými hradlovými izolačnými vrstvami s vysokou permitivitou na báze kremíka. Modelovanie elektrónovej štruktúry kyslíkových a dusíkových porúch v kremíku, so zameraním na výskyt a pôsobenie elektricky aktívnych porúch v kremíkovom substráte. Skúmanie procesov kontaminácie pre vybrané technologické operácie pri zhotovovaní výkonových unipolárnych štruktúr na báze kremíka. Skúmanie radiačnej odolnosti štruktúr pre detektoryionizujúceho žiarenia.
Druh projektu:VEGA ()
Pracovisko:Katedra mikroelektroniky (FEI)
Identifikácia projektu:1/3091/06
Stav projektu:Ukončený úspešne
Dátum začatia projektu:01. 01. 2006
Dátum ukončenia projektu:31. 12. 2008
Počet pracovníkov projektu:1
Počet oficiálnych pracovníkov projektu:0