23. 9. 2019  2:47 Zdenka
Akademický informační systém

Projekty


Rozvoj a aplikácia diagnostických metód pre hodnotenie polovodičových obvodov.

Garant: prof. Ing. Alexander Šatka, CSc.


Základní informace   Pracovníci      


Na této stránce máte zobrazeny podrobné informace o projektu. U hlavních projektů se zobrazuje navíc seznam podprojektů.

Popis projektu:Metódy rastrovacej elektrónovej mikroskopie (SEM SE/BSE, EBIC, EDS), rastrovacej sondovej mikroskopie (STM, AFM), mikro-Ramanovej spektroskopie (uRS), hmotnostnej spektroskopie sekundárnych iónov (TOF-SIMS) a Augerovej elektrónovej spektroskopie (AES) budú adaptované pre špecifické potreby súvisiace so zvýšením efektívnosti a kvality výroby kremíkových výkonových diód a integrovaných obvodov. Nemenej významným cieľom projektu je postupné budovanie a rozvoj výskumného potenciálu pre získavanie vedeckých poznatkov v oblasti kremíkových štruktúr a prvkov a využitie získaných aktuálnych poznatkov vo výchovno-vzdelávacom procese.
Druh projektu:VTP ()
Pracoviště:Katedra mikroelektroniky (FEI)
Identifikace projektu:4/0022/05
Stav projektu:Ukončený úspěšně
Datum zahájení projektu:01. 10. 2005
Datum ukončení projektu:30. 09. 2008
Počet pracovníků projektu:1
Počet oficiálních pracovníků projektu:0