16. 10. 2019  23:12 Vladimíra
Akademický informačný systém

Projekty


Rozvoj a aplikácia diagnostických metód pre hodnotenie polovodičových obvodov.

Garant: prof. Ing. Alexander Šatka, CSc.


Základné informácie   Pracovníci      


Na tejto stránke máte zobrazené podrobné informácie o projekte. Pri hlavných projektoch sa zobrazuje navyše zoznam podprojektov.

Popis projektu:Metódy rastrovacej elektrónovej mikroskopie (SEM SE/BSE, EBIC, EDS), rastrovacej sondovej mikroskopie (STM, AFM), mikro-Ramanovej spektroskopie (uRS), hmotnostnej spektroskopie sekundárnych iónov (TOF-SIMS) a Augerovej elektrónovej spektroskopie (AES) budú adaptované pre špecifické potreby súvisiace so zvýšením efektívnosti a kvality výroby kremíkových výkonových diód a integrovaných obvodov. Nemenej významným cieľom projektu je postupné budovanie a rozvoj výskumného potenciálu pre získavanie vedeckých poznatkov v oblasti kremíkových štruktúr a prvkov a využitie získaných aktuálnych poznatkov vo výchovno-vzdelávacom procese.
Druh projektu:VTP ()
Pracovisko:Katedra mikroelektroniky (FEI)
Identifikácia projektu:4/0022/05
Stav projektu:Ukončený úspešne
Dátum začatia projektu:01. 10. 2005
Dátum ukončenia projektu:30. 09. 2008
Počet pracovníkov projektu:1
Počet oficiálnych pracovníkov projektu:0