16. 10. 2019  10:13 Vladimíra
Akademický informační systém

Projekty


Rastrovací kapacitný tranzietový mikroskop na analýzu defektov v polovodičoch na nanometrovej úrovni

Garant: doc. Ing. Ján Hribik, PhD.


Základní informace   Pracovníci      


Na této stránce máte zobrazeny podrobné informace o projektu. U hlavních projektů se zobrazuje navíc seznam podprojektů.

Popis projektu:Preskúmať možnosť analýzy koncentrácie elektricky aktívnych defektov v polovodičoch a ich identifikácie na nanometrovej úrovni. Výsledkom bude unikátny rastovací sondový mikroskop, použiteľný na lokálnu spektroskopiu hlbokých defektov a na mapovanie výskytu vybraného typu defektu vo vzorke.
Druh projektu:VEGA ()
Pracoviště:Katedra rádioelektroniky (FEI)
Identifikace projektu:2/0107/08
Stav projektu:Ukončený úspěšně
Datum zahájení projektu:01. 01. 2008
Datum ukončení projektu:31. 12. 2010
Počet pracovníků projektu:3
Počet oficiálních pracovníků projektu:0