Mar 23, 2019   11:18 a.m. Adrián
Academic information system

Projects


Micromachinet GAS Sensing microsystemy

Supervisor: prof. Ing. Ivan Hotový, DrSc.


Basic information   Workers      


This page shows details on the project. The primary projects are displayed together with a list of sub-projects.

Project description:Hlavným cieľom navrhovaného projektu je výskum a vývoj nových nanokryštalických tenkovrstvových štruktúr pre miniatúrne elementy využívané na detekciu plynov. Našou snahou bude takéto povrchovo modifikované vrstvy spolu so submikrometrovým elektródovým systémom integrovať do mikro-elektro-tepelno-mechanickej štruktúry vhodnej na detekciu plynov. Nová kvalita mikrosystému bude dosiahnutá starostlivým vývojom technológie a sofistikovaným návrhom architektúry čipu. nasadenie techník mikrotvarovania má za cieľ znížiť spotrebu energie v porovnaní so súčastnými prvkami.
Kind of project:MVTS ()
Department:Department of microelectronics (FEEIT)
Project identification:Slov/Tal-B-hot
Project status:Successfully completed
Project start date :01. 02. 2006
Project close date:15. 12. 2008
Number of workers in the project:2
Number of official workers in the project:0