Apr 3, 2020   8:18 p.m. Richard
Academic information system

Final theses


Basic information

Basic information about a final thesis

Type of thesis: Diploma thesis
Thesis title:DETECTION OF CRYSTALLOGRAPHIC DEFECTS IN SEMICONDUCTOR MATERIAL GaP USING WET CHEMICAL ETCHING
Written by (author): Ing. Božena Matušková
Department: Department of microelectronics (FEEIT)
Thesis supervisor: Ing. Jaroslava Škriniarová, CSc.
Opponent:doc. Ing. Jozef Novák, DrSc.
Final thesis progress:Final thesis was successfully defended.


Additional information

Additional information about the final thesis follows. Click on the language link to display the information in the desired language.

Language of final thesis:Slovak

Slovak        English

Title of the thesis:Odhaľovanie a diagnostika dislokácií na polovodičovom A3B5 materiále
Summary:Práca je zameraná na štúdium vzniku štruktúrnych porúch v materiáloch skupiny III -- V, následne ich vplyvmi, či už na kvalitu daného materiálu, alebo kvalitu súčiastky pre elektroniku a optoelektroniku vyrobenej z daného materiálu. Práca predovšetkým posudzuje kvalitu polovodičového materiálu gálium fosfid (GaP). Analyzovali sa materiály VGF GaP (100), LEC GaP (100), LEC GaP (111)B a zinkom dopovaný LEC GaP (111)B. Na základe teoretických poznatkov získaných štúdiom vedeckých článkov boli vykonané experimenty týkajúce sa odhaľovania kryštalografických porúch metódou mokrého chemického leptania. Výsledky boli zaznamenané optickým, rastrovacím elektrónovým a atómovým silovým mikroskopom. Cieľom práce bolo zviditeľniť poruchy, ktorých rozmery sa pohybujú v škále od niekoľkých nanometrov až po niekoľko desiatok mikrometrov, ako aj identifikovať pravdepodobný pôvod ich vzniku. V závere práce je diskusia zameraná na odhalené poruchy v mriežke VGF GaP, LEC GaP (100), LEC GaP (111)B a zinkom dopovaného LEC GaP (111)B.
Key words:chemické leptanie, EPD, GaP, kryštalografické defekty, materiály III-V

Current level of public release
 
access to digital copies of seminar papers and theses on-line via Internet with no restrictions, incl. the right to provide sub-lincence to a third person for study, scientific, educational and information purposes.


Display and download files

To display the final thesis assignment form click on the Display the final thesis assignment form icon. The following icons - Final thesis, Thesis appendices, Supervisor's review, Opponent's review - relate to the final thesis and can be downloaded. They could be displayed on condition they have been inserted and are available publicly.

Display the assignment formFinal thesis

Parts of thesis with postponed release:

Reviews for final thesis unlimited